晶圓高低溫系統

簡要描述：PTXF晶圓高低溫系統的冷卻系統包括油水換熱器、油油換熱器（部分設備）、冷卻水電磁閥、高溫電磁閥等組成。

產品型號：PTXF
產品產地：上海
更新時間：2025-07-21
訪問量：3095

產品分類

設備簡介

PTXF系列高溫循環器主要由加熱循環系統、冷卻系統、控制系統、箱體等組成。加熱循環系統包括循環泵、電加熱器、膨脹容器、排氣閥、單向閥、熱電阻、循環管道等組成。冷卻系統包括油水換熱器、油油換熱器（部分設備）、冷卻水電磁閥、高溫電磁閥等組成。控制系統采用PID控制技術，高清顯示屏，設有多項保護功能，確保設備安全運行。通過機組自身的加熱與冷卻，向外界輸送載熱流體，滿足工藝條件要求。

設備特點

全密閉系統：采用全密閉式系統設計，整個循環管路只有加液蓋上留出的呼吸孔，導熱油不會直接與空氣接觸，延長了導熱油使用壽命同時確保系統運行的穩定性，膨脹油箱始終保持在常溫狀態，高溫時無油霧產生。

高效換熱系統：系統采用管道式加熱冷卻，參與循環的液體非常少，制冷采用板式換熱器，加熱采用管道式法蘭加熱器，整個系統的容積（板式換熱器容積+管道式加熱器容積+循環泵內容積+循環管路容積）

控制結果重復性：基于高級動態控制系統，同時采用進口鉑電阻溫度傳感器，每次都能實現一致的控制結果，大大提升產品生產的穩定性。

產品外觀：外觀設計吸取國外進口產品的設計理念，采用大口徑石英玻璃液位計，液位計與操作屏放在同一側，觀察方便，風格簡約時尚，比列協調，專有的色彩搭配。

超高溫降溫技術：采用超高溫降溫技術，可以滿足在350℃高溫直接通入冷卻水實現快速降溫。

質量保障：所有的關鍵部件均選用進口品牌，確保產品長時間可靠運行。同時所有產品發貨前均經過嚴格測試與檢驗，確保設備到客戶現場不會出現任何問題。

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